气浮平台

北京星微自动化科技有限公司

精密度高，可定制重复定位精度0.1um或更高精度的精密平台

* 速度高，最高速度可达到7m/s，极大提高生产效率

* 洁净度高，平台运动无需丝杠、减速器等中间部件，无需采用相关维护保养措施，适用高洁净要求环境

* 高刚性，加速性能好

* 动态响应快，执行机构与平台之间无非线性机械部件，可获得极高动态响应

* 平台零件少，组装调试简单，零维护

* 平台运动平稳，运动速度从1um/s到7m/s均能适应，推力范围从几牛顿到几万牛顿可选

超精密运动平台主要应用于各种超精密、高效率要求的加工场合，如半导体加工设备、激光加工设备、电子加工设备、精密机床设备、物流设备、机器人设备、分子筛等

运动行程：最大50~500mm可选择定制

运动精度：0.1um~10um可选择定制

音圈直线电机气浮平台是采用气浮导轨，并可以稳定地高精度地运行， 这种悬浮是轴承腔内导入的压力空气来实现的，泄压的缝隙极小，保证了转动轴的悬浮。高速度，高精确度；无摩擦力；无磨损；不需要润滑油；有卓越的速度控制性能；无噪音。正因为气浮转台有这么多的优点，现在越来越多高精度的应用领域用空气轴承来取代普通的机械轴承。
产品特点
1) 结构简单（精巧）2) 回转轻巧3) 运转平滑4) 精密度高
5) 摩擦损耗小6) 无污染7) 寿命长8) 清洁
应用领域
1) 精密计量：圆度、垂直度、平面度、同心度、圆柱度的计量
2) 空间模拟装置3) 三坐标仪4) 低速伺服转台5) 精密仪器轴承：圆度仪、摩擦力矩仪等6) 高速砂轮轴轴承7) 精密机床轴承8) 光学测试

在超精密气浮定位平台研究工作中,对静压空气轴承的安装位置对系统影响的研究相对较少,本公司研制了一种新型机械结构的音圈直线电机气浮导轨性能测试实验台,实验台导轨滑架采用焊接框架组合结构,实现不同类型气浮轴承的更换及不同数量的气浮轴承的安装,形成不同结构布局的气浮导轨,能够满足多种气浮导轨的实验研究,提高了气浮导轨实验台的利用率和使用范围。此实验台具有机械精度高、系统刚度大、结构稳定性好,安装使用方便等特点。建立了双边直线电机驱动的H型气浮精密定位平台,对该精密定位系统的气浮导轨设计方法和双边直线电机同步运动控制等关键技术进行了研究。利用有限元法设计了气浮导轨,分析了气膜压力场的分布情况,采用预加载技术提高气浮导轨的承载能力和刚度等性能。静态特性实验表明,开发的定位平台气浮导轨具有较高的承载能力和刚度,X、Y导轨的竖直方向静刚度为XXX N/μm和XXXN/μm。设计了基于同步速度偏差的改进型并联结构同步控制器,采用模糊控制实现PID参数的自适应在线整定。运动实验表明,改进的控制器具有较高的同步控制精度,速度同步精度比一般同步控制提高了3倍多,适合于具有强机械耦合的多电机同步运动控制。H型直线电机气浮定位平台具有承载能力强、精度高的优点,可以用于光刻机和光学检测等精密工程领域。

XVSST系列运动平台是星微科技持续在高级材料、特有加工技术、精密结构分析和设计上不断投入的结果，我们研发的目标是为今天要求严格的半导体工业设备提供高精度和高产出率的运动系统，同时是我们有着在迎接未来的挑战中保持领先的技术能力SST气浮平台能满足在电子及半导体加工、检测设备的具有挑战性的要求。

产品技术特点
传统的平面式XY双驱气浮平台都采用双气浮导向导轨的形式，双气浮导轨结构在安装调试时对导轨本身的精度以及导轨之间的平行度要求极高，并且该结构形式对环境恒温要求也很高；SST系列运动平台为了解决这些问题采用了开放式T型气浮结构设计，T型结构具有机械安装调试简单，对环境的恒温要求低，便于集成到客户产品当中。

产品技术指标

产品技术参数

产品尺寸图

应用领域
科研；工业制造；激光加工制造；电子零件生产、组装；半导体制造、检测；平面显示器制造、检测