供应AZO靶材

AZO靶材

主要技术指标：

*化学成分：98wt.% ZnO, 2wt.%Al₂O₃或按用户需要提供；

*纯度：3N或4N；

*相对密度：≥99.5%；

实测密度≥5.60g/cm³

*靶材电阻率：5×10^—4Ω·cm (表面电阻由于机加工等原因会明显高于此值)；

*膜电阻率：采用射频磁控溅射，基片加热温度220℃，在*佳工艺条件下：2.17×10^—4Ω·cm；基片加热温度450℃，在*佳工艺条件下：9.06×10^—5Ω·cm

*目前能提供的*大尺寸：400mm×200mm×9mm。