供应Aerotech ABL2000

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ABL2000气浮平台
1专为晶片成像/缺陷探测/涂覆应用设计
2运动超平滑,速度稳定性突出
3直线编码器或激光干涉仪反馈
4行程达1.2米
5全预加负载气浮导轨(空气轴承)
6全部非接触设计
行程≤1200mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.25um

平面度±0.25um

ABL1000气浮平台
1专为高性能校准和装配应用设计
2分辨率达2nm的直线编码器反馈
3闭环分辨率可达0.5nm(使用A3200控制器)
4全预加负载气浮导轨(空气轴承)
5低噪音线性放大器
6全部非接触设计
行程≤150mm
精度±0.20um
重复定位精度±0.05um
直线度±0.25um
平面度±0.25um
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ABL1500直线电机平台
1专为高性能扫描和检测应用设计
2分辨率达到nm以下的直线编码器反馈
3全预加负载气浮导轨(空气轴承)
4大负载高刚性几何特性极好
行程≤500mm
精度±0.20um
重复定位精度±0.10um
直线度±0.25um
平面度±0.25um

型号/规格

ABL2000

品牌/商标

Aerotech