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产品属性
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型号 |
显微系统 |
VK-X260K |
VK-X160K |
VK-X130K |
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控制器 |
VK-X250K |
VK-X150K |
VK-X120K |
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综合倍率 |
28000 倍以下*1 |
19200 倍以下*1 |
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视野 (最小观察范围) |
11 μm 至 5400 μm |
16 μm 至 5400 μm |
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帧频率 |
激光测量速度 |
4 至120 Hz、7900 Hz*2 |
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测量原理 |
光学系统 |
针孔共聚焦光学系统 |
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光接收元件 |
光电倍增器、16 bit 感应 |
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扫描方式 (常规测量时及图像连接时) |
自动上下限设置功能 高速光量最佳化功能(AAG Ⅱ)反射光量不足补充功能(双扫描) |
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高度测量 |
显示分辨率 |
0.5 nm |
5 nm |
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线性标尺 |
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动态量程 (来自工件的光接收量的适用幅度) |
16 bit |
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重复精度σ |
20 倍 40 nm、50 倍 12 nm、150 倍 12 nm*3 |
20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm*3 |
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Z轴测量用内存 |
1400 万步骤 |
140 万步骤 |
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准确性 |
0.2+L/100μm或更小(L=测量长度)*4 |
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Z 载物台结构 |
结构 |
测量头分离结构 |
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最大样品高度 |
28 mm, 128 mm (可选件) |
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宽度测量 |
显示分辨率 |
1 nm |
10 nm |
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重复精度3σ |
20 倍 100 nm、50 倍 40 nm、150 倍 20 nm*3 |
20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm*3 |
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XY 载物台结构 |
手动 运行范围 |
70 mm×70 mm |
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电动 运行范围 |
50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm*5 |
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观察 |
观察图像 |
超高精细彩色CCD 图像 |
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最大拍摄分析率 |
3072×2304 |
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测量用激光光源 |
波长 |
紫激光 408 nm |
红色半导体激光 658 nm |
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最大输出 |
0.95 mW |
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激光产品 |
2 类激光产品 (GB7247.1) |
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重量 |
显微系统 |
约26 kg(分离时测量头单体: 约10 kg) |
约25 kg(分离时测量头单体: 约8.5 kg) |
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控制器 |
约 11 kg |
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*1 23 英寸显示器记载。 |
MV-BE20A
韩国