广州半导体材料研究所创办于1966年，位于广州市天河区东莞庄路，占地面积2万5千平方米，位于广州五山高校园区，周围有华南理工大学、暨南大学、华南农业大学、广东工业大学等多所国内外著名高校。建所以来，主要研究超纯硅多晶、高阻硅单晶、大规模集成电路级硅单晶片工艺技术及测试方法、测试仪器、电力电子元器件。近年来结合通信信息和光电子行业的迅猛发展，发挥我所在人工晶体研究方面的技术优势，开展了压电晶体和激光晶体的研究开发和生产，在半导体材料、激光晶体、光学晶体、压电晶体和晶体生产技术、测试技术等领域有较强实力，形成了一定的特色，是广东省重要晶体材料及测试仪器的研究开发和生产基地。目前我所利用半导体材料生产的配套技术及晶体生长技术，建立了测试技术开发中心、半导体技术开发中心、光电晶体研究开发中心、压电晶体研究开发中心、洁净技术中心和生物科技开发中心等，下属公司有广东穗高水处理技术有限公司. 近来，我所光电技术开发中心在光电晶体及其应用的研发工作方面取得了显著成效。目前，可出售光电晶体的