整流桥的工艺主要分为以下几种:
一、主要工艺类型
- 普通工艺
- 概述:普通工艺是整流桥zui早的生产工艺,通过在芯片上加铝金属,铝金属与芯片表面上的二极管结成金属氧化物半导体结构。
- 优点:制造工艺成本低。
- 缺点:稳定性差,能量损失大,效率低。
- 光结工艺
- 发展基础:光结工艺是在普通工艺的基础上发展起来的,利用了光刻技术。
- 制造过程:将掩膜技术应用到晶体管的制造中,通过硅表面的掩膜将铝金属局部光刻掉,制成金属–半导体–金属的光结。
- 优点:能耐高压,具有较好的工作可靠性,效率较高。
- 隧道结工艺
- 特点:隧道结工艺是近年来出现的一种新工艺,通过制造氮化硅和碳化硅的薄膜,在芯片表面上制成隧道结。
- 优点:芯片能耐较高电压,效率较高,且能耐高温。
二、制备流程(以特定工艺为例)
以下是一种高可靠性整流桥及整流模块的生产工艺步骤(来源于近期的文献,可能代表了行业内的先进技术):
- 硅片处理:取镀金后的已扩散硅片,进行光刻和蚀刻开沟。
- 清洗:对蚀刻开沟后的晶圆片进行yi次碱洗。
- 切割:将清洗后的晶圆片切割成OJ芯片。
- 焊接:取切割后的OJ芯片焊接在整流桥框架中。
- 二次清洗:对焊接在整流桥框架上的OJ芯片进行二次碱洗。
- 钝化保护:在碱洗后的铜基框架及同等功能基片上的OJ芯片四周填涂聚酰亚胺,实现对OJ芯片PN结的钝化保护。
- 封装:采用传统的环氧树脂或AB胶对钝化后的产品进行封装。
三、工艺选择与应用
不同的整流桥工艺各有优缺点,选择哪种工艺主要取决于产品的具体应用需求、成本考虑以及性能要求。例如,对于需要承受高电压和高温度的应用场景,隧道结工艺可能更为适合;而对于成本敏感的应用,普通工艺可能更为经济可行。
总的来说,整流桥的工艺随着科技的进步而不断发展,新的制造技术不断涌现,为整流桥的性能提升和应用拓展提供了更多的可能性。