半导体气敏传感器是利用待测气体与半导体(主要是金属氧化物)表面接触时,产生的电导率等物性变化来检测气体。半导体气敏器件被加热到稳定状态下,当气体接触器件表面而被吸附时,吸附分子首先在表面自由地扩散(物理吸附),失去其运动能量,其间的一部分分子蒸发,残留分子产生热分解而固定在吸附处(化学吸附)。这时,如果器件的功函数小于吸附分子的电子亲和力,则吸附分子将从器件夺取电子而变成负离子吸附。具有负离子吸附倾向的气体最典型的是O2,称为氧化型气体或电子接收性气体。如果器件的功函数大于吸附分子的离解能,吸附分子将向器件释放电子,而成为正离子吸附。具有这种正离子吸附倾向的气体有H2、CO、碳氢化合物和酒类等,称为还原型气体或电子供给性气体。
目前可用于检测气体的敏感元件有很多种,如 SnO2,ZnO,Fe2O3和气敏元件等。它们共同的特点是可以检测多种不同的气体,但对气体的选择性较差。这种非单一选择性是由其敏感机理所决定的,虽然可以采用添加适量的贵重金属Pt、Pd等方法改善其选择性,但仍然会对其它气体有一定的敏感度。
空气传感器是半导体气敏传感器中的一种,它构造简单,由传感器基板,气敏元件和传感器盖帽组成。气敏元件由一个以金属铝做衬底的金属氧化物敏感芯片和一个完整的加热器组成。利用加热器加热,以侦测气体附着于金属氧化物表面而产生的电阻值的变化。在检测气体时,传感器的传导率依赖于空气中气体浓度的变化。在目标气体不存在的状态下,大量附着的空气中的O2会捕捉电子,而呈现出高阻状态;相反的,若有目标气体存在,则因为会与氧产生一种燃烧反映,自由电子的量增加,而电阻值则降低。用一个测量电路能将该传导率的变化转化成对应于气体浓度变化的输出信号。
TGS2600是日本FIGARO公司开发生产的一种新型半导体气体传感器,能够灵敏地感知空气中的低浓度污染物的异味,如空气中的低浓度香烟污染物和其它异味,对H2、CO等有较高的敏感度。该传感器能检测到几个ppm级H2含量。TGS2600具有成本低、体积小、寿命长、选择性和稳定性好等特性,可广泛用于空气质量监测、自动通风换气系统、空气清新机和气流控制设备中。该器件比较适合于在室温下长时间通电连续工作。由于采用小型化芯片,TGS2602传感器的加热器所需电流仅为42mA,并且安置于标准TO-5封装中。
TGS2600空气质量传感器能够很好的感知空气中的污染物的异味,非常灵敏地监测空气质量的变化。与其它空气传感器相比,TGS2600在灵敏度和稳定性方面有很大的优越性,具有成本低、体积小、寿命长、价格低廉、稳定性好等特点。TGS2600为空气质量的监测和通风换气设备等提供了方便可靠的方法。随着经济的发展和人民生活水平的提高,人们对环保问题越来越重视,特别是对室内空气质量的监测也日益关注,所以对空气传感器的开发研究和综合应用是一项当务之急的课题,必将成为今后备受瞩目的应用研究领域。