纳米编码器

　　纳米编码器又称XY编码器或者叫栅格，在X和Y方向上以10um的作为基础周期，整个计量系统则以5um的作为测量周期。NG用三相90-element的探测器从栅格中捕捉阶的激光通过衍射方式反射过来的信号。这三个信号为极小的移动提供一个非常明确的测量相位。

　　纳米编码器是用于测量二维超精密的平面位移的测量系统。NG-A是一个XY网格编码器系统，湍流效应是激光干涉仪经常会遇到的，该系统也可以避免与相单独线性尺度关联的阿贝误差。NG-A在制造栅格的过程中，能够保证其达到激光干涉仪的，并且以一个更经济的价格、更实用和更坚固的制造工艺来封装它。

　　应用领域

　　◆高低成本位置控制；

　　◆实时校准；

　　◆精密金刚石车削实验室；

　　◆镜头自动对焦；

　　主要特点

　　◆亚纳米的分辨率；

　　◆重复性小于5nm；

　　◆低阿贝误差；

　　◆对湍流效应及大气压强变化不敏感；

　　◆占地面积小，重量轻；

　　◆可选真空版本；

　　◆易于安装，包括栅格安装的应力消除；

　　◆栅格和探头的间隙为12mm；

　　◆对准误差低；