面板和触摸屏行业新的在线静电测量方法

　　静电一直以来就是半导体和面板行业关注的问题，由于其产生的静电释放和吸附会造成的元件损伤进而影响生产产品良率。
　　以面板行业为例，玻璃面板在制造工艺过程中不断被摩擦、移动、吸附、加压、分离、加热、冷却等而持续产生静电，在特定的情况下就会发生静电放电现象。由于面板大尺寸、高集成度、静电分布不均匀、测试空间狭小、测试距离远，所以传统手持式静电场测试仪难以量测到准确的静电电压数值，不能满足当前面板工艺的检测要求。
　　因此，美商卫利引进了日本Hanwa公司全新的在线静电检测设备（如图1所示），它采用多点检测探头，利用数值、视觉、图表三种模式切换实时显示静电数据，是在线、功能测试解决方案。

　　图1 在线静电测试设备
　　使用这种设备我们在面板行业不同工艺段进行了相关测试，利用配套的软件得到了原始数据和视觉图像（如图2、3所示）。

　　图2 原始Excel数据（显示不同测试点所对应静电量）

　　图3 视觉图像（不同测试点借由颜色深浅显示静电量大小）
　　在整个面板转运过程中，通过后期数据和图像分析，能够发现不同环节面板表面静电量变化情况，针对特定变化规律及数据对比使我们有了更多手段去发现并改善生产潜在的危险（如图4所示）。

　　图4后期数据分析（显示面板在转运过程中整片玻璃静电量变化）
　　我们可以利用这套新的系统所产生的信息来分析制程中机台接地是否良好，滚轮及顶针防静电效果是否达到预期，离子棒安装位置以及角度、高度是否合适等来确定采取的各种防静电手段是否有效。