美国SMI公司的硅微结构压力传感器件和传感器晶圆；产品广泛应用于汽车制造、医疗设备和工业生产：如胎压检测、引擎控制、呼吸机、麻醉机、监护仪、氧气瓶、风速计、血压计、空调系统等相关产品。

 

美国SMI微压传感器的技术原理

美国Silicon Microstructures INC.开发了一系列价位低、线性度在0.3%到0.05%范围内的硅微结构压阻式传感器，满量程为0.15psi(1KPa)、0.3psi(2KPa)、0.8psi(5KPa)、1.5psi(10KPa)、3 psi(20KPa)、满量程为0.15psi(1KPa)，被列为超低压力测量范围。

美国SMI廉价的压阻式、超低压传感器成功的关键是它的创新的物理刻蚀设计。一般来说,硅微压力传感器芯片采用扁平膜来测量压力。SMI传感器芯片采用三维膜片结构,用硅刻蚀工艺将产生的应力(压力)集中在传感电阻处。这样在保持总体和线性度的同时仍有很高的灵敏度。80%的应力传递到膜片中的梁式区域,而膜片丢失的应力只有20%。
除了压阻器所处的四周外，膜片的所有部分都减薄，从而得到膜片的浮凸结构。由于传感器看起来象机械力放大器，因而便于把膜片运动的应力集中在压阻器上，增加的应力极大地提高了信号输出，膜片上的浮凸用做终止层。四周的薄膜有效地将器件密封起来。因此压力不会前后移动。此外，在器件的结构内，离子注入电阻形成压阻式惠斯登电桥，凹坑减少了器件的总震动质量。

产品技术原理

压阻式：压阻式传感器是采用集成电路制造技术在半导体基片上直接生成扩散电阻并组成电桥，半导体材料通常为硅材料，所以压阻式传感器又常称为扩散硅压力传感器。由于采用了集成电路生产技术，这类传感器非常适合大批量生产，成本也很低，压阻式传感器面临的主要问题是受温度影响较大。------SMI54系列微压传感器

Silicon Microstructures, Inc. (SMI) 生产各种微结构压力传感器，产品广泛用于汽车制造、医疗设备和工业生产。SMI不仅设计、生产各类微压传感器，并且提供集成化传感器和基于 MEMS 的传感器系统代工服务。

作为高性能硅压力传感器和加速计的生产厂家，SMI 成立于1991年。起初公司生产硅低压传感器，如今 SMI 已拥有众多系列的硅微结构传感器，为各类 OEM 客户提供质优价廉的产品。

2001年4月该公司被专门生产汽车用 ASIC 的 Elmos 半导体公司收购。通过集成 Elmos 的 ASIC 技术和 SMI 的6 英寸晶圆生产工艺，推出高性能、系统化、低价位的新一代完整片上系统微结构传感器。2002年8月 SMI 收购了 IC Sensors 的晶圆部，03年 SMI 设计出新型6英寸晶圆生产设备，该设备拥有先进的深度离子刻蚀 (DRIE) 和等离子焊接能力。

气压系列-SM5852-003 to SM5852-030

SM5852-003 to SM5852-030 

气压系列-SM5812-001

SM5812-001 

气压系列-SM5812

SM5812 

气压系列-SM5652

低压（0-0.15 至0-100PSI） 恒压、恒流供电方式可选 D I P 封 装 0-60℃温度补偿 表压、压差、绝压、测量 

气压系列-SM5651

低压（0-0.15 至0-100PSI） 恒压、恒流供电方式可选 D I P 封 装 0-60℃温度补偿 表压、压差、绝压、测量 

气压系列-SM5612

低压（0-0.15 至0-100PSI） 恒压、恒流供电方式可选 D I P 封 装 0-60℃温度补偿 表压、压差、绝压、测量 

气压系列-SM5611

低压（0-0.15 至0-100PSI） 恒压、恒流供电方式可选 D I P 封 装 0-60℃温度补偿 表压、压差、绝压、测量 

气压系列-SM5552

低压（0-0.15PSI 至0-30PSI） 全温度补偿 表压及差压测量 恒压供电及恒流供电可选 

气压系列-SM5551

低压（0-0.15PSI 至0-30PSI） 全温度补偿 表压及差压测量 恒压供电及恒流供电可选 

气压系列-SM5502

0-5PSI 至0-100PSI 量程范围 全温度补偿 电压电源或电流电源可选 

气压系列-SM5501

0-5PSI 至0-100PSI 量程范围 全温度补偿 电压电源或电流电源可选 

气压系列-SM5410

低压（0-0.15PSI~0-100PSI） 宜于使用 结构紧凑 低成本、高性能 

   气压系列-SM5450

低压（0-0.15PSI~0-100PSI） 宜于使用 结构紧凑 低成本、高性能  

气压系列-SM5350

低压（0-0.15PSI~0-100PSI） 宜于使用 结构紧凑 低成本、高性能 

气压系列-SM5310

低压（0-0.15PSI~0-100PSI） 宜于使用 结构紧凑 低成本、高性能 

气压系列-SM5106(芯片）

SM5106(芯片） 

气压系列-SM5103（芯片）

SM5103（ 芯片） 

气压系列-SM5102（芯片）

SM5102（芯片）SM9541-010C-S-C-3-S
SM9541-010C-D-C-3-S
SM9541-020C-S-C-3-S
SM9541-020C-D-C-3-S
SM9541-040C-S-C-3-S
SM9541-040C-D-C-3-S
SM9541-100C-S-C-3-S
SM9541-100C-D-C-3-S
SM5882-006-D-B
SM5882-006-S-B
SM5882-015-D-B
SM5882-015-S-B
SM5852-001-D-3-LR
SM5852-001-S-3-LR
SM5852-003-D-3-LR
SM5852-003-S-3-LR
SM5852-004-S-3-LR
SM5852-008-G-3-SR
SM5852-015-G-3-LR
SM5822-015-A-B
SM5822-015-D-B
SM5822-015-G-B
SM5822-015-S-B
SM5822-060-A-B
SM9221-150-A-D
SM9221-300-A-D
SM9221-030-A-D
SM9221-060-A-D
SM5108C-015-AX
SM5108C-030-AX
SM5108C-060-AX
SM5108C-150-AX
SM5103-003-GX
SM5103-008-GX
SM5103-015-GX
SM5103-015-GX
SM5102-005-GX
SM5102-015-GX
SM5102-015-AX
SM5102-030-GX
SM5102-030-AX
SM5102-060-GX
SM5102-060-AX
SM5102-100-GX
SM5102-100-AX
SM9221-150-A-D
SM9221-300-A-D
SM9221-030-A-D
SM9221-060-A-D
SM5108C-015-AX
SM5108C-030-AX
SM5108C-060-AX
SM5108C-150-AX